Nebenbestandteile Chlorwasserstoff 5.5, ppm:
H2O ≤ 1
O2 ≤ 0,5
N2 ≤ 1
CO ≤ 0,5
CO2 ≤ 1
KW ≤ 0,5
Fe ≤ 0,1*
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Chlorwasserstoff
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 42,61
10 42,66
Edelstahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
40 42,628**
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
50 42,636
Lieferhinweise:
* Massenanteile
** Edelstahlflasche

Umrechnungszahlen Chlorwasserstoff
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 1,29 1,536
0,775 1 1,191
0,651 0,84 1
Kennzeichnung Chlorwasserstoff 5.5
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Chlorwasserstoff 5.5
Ventilanschluss: 1 nach DIN 477 Nr. 8
Eigenschaften Chlorwasserstoff
Unter Druck verflüssigtes Gas, ätzend, giftig ätzendgiftig
MAK-Wert:5 ppm
Chemisches Zeichen:HCl
Molare Masse:36.461 g/mol
Kritische Temperatur:324.69 K (51.54 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):188.12 K (-85.03 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):1.270
Anwendungen Chlorwasserstoff 5.5
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Al, GaAs)
  • Reaktives Gas bei der Oxidation von Silicium
  • Reinigen von Reaktoren

Gemische von Chlorwasserstoff mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen, z.B. für Excimer-Laser.

Ebenfalls verfügbar
Chlorwasserstoff 5.0
Chlorwasserstoff 2.8
Chlorwasserstoff 4.5