Nebenbestandteile Chlorwasserstoff 5.0, ppm:
|
H2O |
≤
2 |
|
O2 |
≤
1 |
|
N2 |
≤
4 |
|
CO |
≤
1 |
|
CO2 |
≤
3 |
|
KW |
≤
1 |
|
Fe |
≤
1* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Chlorwasserstoff
Lieferhinweise:
* Massenanteile
** stehendes Fass, Maße inklusive Gestell
Umrechnungszahlen Chlorwasserstoff
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) |
Liter flüssig bei Ts |
kg |
| 1 |
1,29 |
1,536 |
| 0,775 |
1 |
1,191 |
| 0,651 |
0,84 |
1 |
Kennzeichnung Chlorwasserstoff 5.0
| Flaschenschulter: |
Gelb RAL 1018 |
| Aufkleber: |
Chlorwasserstoff 5.0 |
| Ventilanschluss: |
1 nach DIN 477 Nr. 8
Fass: DISS 634 Pneumatik |
Eigenschaften Chlorwasserstoff
| Unter Druck verflüssigtes Gas, ätzend, giftig |   |
| MAK-Wert: | 5 ppm |
| Chemisches Zeichen: | HCl |
| Molare Masse: | 36.461 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 324.69 K (51.54 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 188.12 K (-85.03 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 1.270 |
Anwendungen Chlorwasserstoff 5.0
- Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Al, GaAs)
- Reaktives Gas bei der Oxidation von Silicium
- Reinigen von Reaktoren
Gemische von Chlorwasserstoff mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen, z.B. für Excimer-Laser.