Nebenbestandteile Trifluormethan 5.0, ppm:
H2O 1
O2 + N2 3
CO 1
CO2 3
andere hal. KW 5
Säure 0,1*
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Kontrollzertifikat
Jede Füllung wird mit einem Kontrollzertifikat ausgeliefert, in dem die Einhaltung der Grenzwerte hinzufügen die Nebenbestandteile bestätigt ist.

Lieferarten Trifluormethan
Aluminiumflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 41,61,5
10 41,68
40 41,630
Lieferhinweise:
* Massenanteile

Umrechnungszahlen Trifluormethan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 2,049 2,949
0,488 1 1,439
0,339 0,695 1
Kennzeichnung Trifluormethan 5.0
Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber: Trifluormethan 5.0
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
Eigenschaften Trifluormethan
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:CHF3
Molare Masse:70.010 g/mol
Kritische Temperatur:299.15 K (26 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):190.97 K (-82.18 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):2.438
Anwendungen Trifluormethan 5.0
Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4).
Gemische von Trifluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.