- Kühlmittel
- Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4)
Gemische von Trifluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusamensetzungen.
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
1 | 2,049 | 2,949 |
0,488 | 1 | 1,439 |
0,339 | 0,695 | 1 |
Flaschenschulter: | Leuchtendes Grün RAL 6018 |
Aufkleber: | R 23 2.8 |
Ventilanschluss: | W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 |
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend | |
MAK-Wert: | nicht festgelegt |
Chemisches Zeichen: | CHF3 |
Molare Masse: | 70.010 g/mol |
Kritische Temperatur: | 299.15 K (26 °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 190.97 K (-82.18 °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 2.438 |