Nebenbestandteile Silan 5.0, ppm:
|
H2O |
≤
1 |
|
O2 |
≤
1 |
|
N2 |
≤
3 |
|
CO + CO2 |
≤
1 |
|
KW |
≤
0,5 |
|
Chlorsilane |
≤
0,5 |
|
H2 |
≤
50 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Silan
Lieferhinweise:
abweichende Behältermaterialien (Aluminium-Legierung oder Edelstahl) und Füllmengen auf Anfrage lieferbar
Umrechnungszahlen Silan
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) |
Liter flüssig bei Ts |
kg |
| 1 |
2,428 |
1,35 |
| 0,412 |
1 |
0,556 |
| 0,741 |
1,799 |
1 |
Kennzeichnung Silan 5.0
| Flaschenschulter: |
Rot RAL 3000 |
| Aufkleber: |
Silan 5.0 |
| Ventilanschluss: |
W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1 |
Eigenschaften Silan
| Verdichtetes Gas, , |  |
| MAK-Wert: | 5 ppm (TLV) |
| Chemisches Zeichen: | SiH4 |
| Molare Masse: | 32.118 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 269.65 K (-3.5 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 161.75 K (-111.4 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 1.120 |
Anwendungen Silan 5.0
- Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
- CVD von Siliciumoxid- und Siliciumnitrid-Schichten
- Abscheidung von polykristallinem und amorphem Silicium (CVD)
Gemische von Silan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.