Nebenbestandteile Silan 4.0, ppm:
H2O 2
O2 1
N2 20
CO + CO2 5
KW 5
Chlorsilane 2
H2 200
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Silan
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterFülldruck, ca. barFüllmenge kg
2 480,2
10 481
50 10016
50 10016
50 485
Lieferhinweise:
abweichende Behältermaterialien (Aluminium-Legierung oder Edelstahl) und Füllmengen auf Anfrage lieferbar

Umrechnungszahlen Silan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 2,428 1,35
0,412 1 0,556
0,741 1,799 1
Kennzeichnung Silan 4.0
Flaschenschulter: Rot RAL 3000
Aufkleber: Silan 4.0
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1
Eigenschaften Silan
Verdichtetes Gas, hochentzündlich, selbstentzündlich an der Luft hochentzündlich
MAK-Wert:5 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:SiH4
Molare Masse:32.118 g/mol
Kritische Temperatur:269.65 K (-3.5 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):161.75 K (-111.4 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):1.120
Anwendungen Silan 4.0
  • Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
  • CVD von Siliciumoxid- und Siliciumnitrid-Schichten
  • Abscheidung von polykristallinem und amorphem Silicium (CVD)

Gemische von Silan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Ebenfalls verfügbar