Reinigen von CVD-Kammern.
Gemische von Octafluorpropan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Nebenbestandteile Octafluorpropan 3.5 (R 218), ppm:
H2O | ≤ 10 |
O2 + N2 | ≤ 300 |
andere hal. KW | ≤ 200 |
Säure | ≤ 1* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Octafluorpropan
Lieferhinweise:
* Massenanteile
* Massenanteile
Umrechnungszahlen Octafluorpropan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
1 | 4,99 | 7,99 |
0,2 | 1 | 1,601 |
0,13 | 0,62 | 1 |
Kennzeichnung Octafluorpropan 3.5 (R 218)
Flaschenschulter: | Leuchtendes Grün RAL 6018 |
Aufkleber: | Octafluorpropan 3.5 |
Ventilanschluss: | W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 |
Eigenschaften Octafluorpropan
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend | |
MAK-Wert: | nicht festgelegt |
Chemisches Zeichen: | C3F8 |
Molare Masse: | 188.02 g/mol |
Kritische Temperatur: | 345.45 K (71.9 °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 236.45 K (-36.7 °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 6.610 |
Anwendungen Octafluorpropan 3.5 (R 218)