Nebenbestandteile Octafluorcyclobutan 4.8 (R C318), ppm:
H2O ≤ 2
O2 + N2 ≤ 10
CO ≤ 1
CO2 ≤ 5
andere hal. KW ≤ 5
Säure ≤ 1*
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Octafluorcyclobutan
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 2,72
10 2,710
50 2,750
Lieferhinweise:
* Massenanteile

Umrechnungszahlen Octafluorcyclobutan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 5,42 8,87
0,18 1 1,637
0,11 0,61 1
Kennzeichnung Octafluorcyclobutan 4.8 (R C318)
Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber: Octafluorcyclobutan 4.8
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
Eigenschaften Octafluorcyclobutan
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:C4F8
Molare Masse:200.03 g/mol
Kritische Temperatur:388.47 K (115.32 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):266.73 K (-6.42 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):7.330
Anwendungen Octafluorcyclobutan 4.8 (R C318)
Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Si, SiO2).
Gemische von Octafluorcyclobutan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.