Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Poly-Silicium).
Gemische von Bromwasserstoff mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Nebenbestandteile Bromwasserstoff 5.0, ppm:
CO | ≤ 1 |
O2 | ≤ 1 |
CO2 | ≤ 5 |
H2O | ≤ 1 |
N2 | ≤ 2 |
CH4 | ≤ 1 |
Fe | ≤ 1* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Bromwasserstoff
Lieferhinweise:
* Massenanteile
* Massenanteile
Umrechnungszahlen Bromwasserstoff
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
1 | 1,548 | 3,409 |
0,646 | 1 | 2,203 |
0,293 | 0,454 | 1 |
Kennzeichnung Bromwasserstoff 5.0
Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 |
Aufkleber: | Bromwasserstoff 5.0 |
Ventilanschluss: | 1 nach DIN 477 Nr. 8 |
Eigenschaften Bromwasserstoff
Unter Druck verflüssigtes Gas, ätzend | |
MAK-Wert: | 2 ppm |
Chemisches Zeichen: | HBr |
Molare Masse: | 80.912 g/mol |
Kritische Temperatur: | 363.05 K (89.9 °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 206.43 K (-66.72 °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 2.818 |
Anwendungen Bromwasserstoff 5.0