Nebenbestandteile Bortrichlorid 4.0, ppm:
O2 ≤ 5
N2 ≤ 50
CO ≤ 5
CO2 ≤ 50
KW ≤ 5
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Bortrichlorid
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 1,62
10 1,610
50 1,650

Umrechnungszahlen Bortrichlorid
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 3,65 4,913
0,274 1 1,346
0,204 0,743 1
Kennzeichnung Bortrichlorid 4.0
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Bortrichlorid 4.0
Ventilanschluss: 1 nach DIN 477 Nr. 8
Eigenschaften Bortrichlorid
Unter Druck verflüssigtes Gas, sehr giftig, ätzend sehr giftig
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:BCl3
Molare Masse:117. 2 g/mol
Kritische Temperatur:451.95 K (178.8 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):285.65 K (12.5 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):4.062
Anwendungen Bortrichlorid 4.0
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Al, Si)
  • Dotierung von Silicium und Germanium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation

Gemische von Bortrichlorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Ebenfalls verfügbar
Bortrichlorid 2.8
Bortrichlorid 5.0