Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bevorzugt Gemische mit H2, Ar, He oder N2 verwendet (Dotiergasgemische).
Gemische von Arsin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Nebenbestandteile Arsin 5.0, ppm:
| O2 | ≤ 1 |
| N2 | ≤ 3 |
| H2O | ≤ 2 |
| KW | ≤ 1 |
| CO | ≤ 1 |
| CO2 | ≤ 1 |
| PH3 | ≤ 0,1 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Arsin
Lieferhinweise:
vom Standard abweichende Behälter sowie Behälter für Gemische auf Anfrage lieferbar
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Umrechnungszahlen Arsin
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
| 1 | 1,991 | 3,253 |
| 0,502 | 1 | 1,634 |
| 0,307 | 0,612 | 1 |
Kennzeichnung Arsin 5.0
| Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 |
| Aufkleber: | Arsin 5.0 |
| Ventilanschluss: | W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1 |
Eigenschaften Arsin
| Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, umweltgefährlich, sehr giftig |    |
| MAK-Wert: | 0,05 ppm (TLV) |
| Chemisches Zeichen: | AsH3 |
| Molare Masse: | 77.950 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 373.05 K (99.9 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 210.67 K (-62.48 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 2.688 |
Anwendungen Arsin 5.0