Abscheidung von Silicium.
Gasgemische und Prüfgase in kundenspezifischer Zusammensetzung als auch in weiteren Gebindegrößen.
Herstelltoleranz (relativ), Analysengenauigkeit (relativ), Stabilität (Monate)
Silan (SiH4) | 1-2% |
Helium (He) | Rest |
Lieferarten Silan in Helium
Kennzeichnung 1-2 % Silan, Rest Helium
Flaschenschulter: | Rot RAL 3000 |
Aufkleber: | 1-2 % Silan, Rest Helium |
Ventilanschluss: | W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1 |
Eigenschaften Silan in Helium
MAK-Wert: | |
Chemisches Zeichen: | SiH4 in He |
Molare Masse: | g/mol |
Kritische Temperatur: | K ( °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | K ( °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft |
Anwendungen 1-2 % Silan, Rest Helium