Bestandteile
| Fluor (F2) |
0,1 - 0,2% |
| Helium (He) |
Rest |
Lieferarten Gasgemische für Excimer-Laser
Lieferhinweise:
Spezifische Premixes mit exakter Zusammensetzung nach Vorgabe durch den Laserhersteller.
Kennzeichnung Premix 157 nm 0,1 - 0,2 % Fluor, Rest Helium
| Flaschenschulter: |
Gelb RAL 1018 |
| Aufkleber: |
mit Angaben zur Zusammensetzung |
| Ventilanschluss: |
1 (DIN 477 Nr. 8), Edelstahl M 19 x 1,5 LH (DIN 477 Nr. 14), Edelstahl |
Eigenschaften Gasgemische für Excimer-Laser
| MAK-Wert: | |
| Chemisches Zeichen: | |
| Molare Masse: | g/mol |
| Kritische Temperatur: | K ( °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | K ( °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | |
Anwendungen Premix 157 nm
0,1 - 0,2 % Fluor, Rest Helium
Premix für Excimer-Laser.
Gasgemische und Prüfgase in kundenspezifischer Zusammensetzung als auch in weiteren Gebindegrößen.