Premix für Excimer-Laser.
Gasgemische und Prüfgase in kundenspezifischer Zusammensetzung als auch in weiteren Gebindegrößen.
Fluor (F2) | 0,1 - 0,2% |
Argon (Ar) | 1- 10% |
Helium (He) | 1 - 20% |
Neon (Ne) | Rest |
Lieferarten Gasgemische für Excimer-Laser
Lieferhinweise:
Spezifische Premixes mit exakter Zusammensetzung nach Vorgabe durch den Laserhersteller.
Spezifische Premixes mit exakter Zusammensetzung nach Vorgabe durch den Laserhersteller.
Kennzeichnung Premix 193 nm 0,1 - 0,2 % Fluor, 1 - 10 % Argon, 1 - 20 % Helium, Rest Neon
Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 |
Aufkleber: | mit Angaben zur Zusammensetzung |
Ventilanschluss: | 1 (DIN 477 Nr. 8), Edelstahl M 19 x 1,5 LH (DIN 477 Nr. 14), Edelstahl |
Eigenschaften Gasgemische für Excimer-Laser
MAK-Wert: | |
Chemisches Zeichen: | |
Molare Masse: | g/mol |
Kritische Temperatur: | K ( °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | K ( °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft |
Anwendungen Premix 193 nm
0,1 - 0,2 % Fluor, 1 - 10 % Argon, 1 - 20 % Helium, Rest Neon
0,1 - 0,2 % Fluor, 1 - 10 % Argon, 1 - 20 % Helium, Rest Neon
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