Nebenbestandteile Schwefelhexafluorid 4.5, ppm:
H2O 5
O2 + N2 10
CF4 40
Säure 0,5**
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Schwefelhexafluorid
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 21,02
10 21,010
50 21,050
Lieferhinweise:
** Massenanteile

Umrechnungszahlen Schwefelhexafluorid
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 3,234 6,176
0,309 1 1,91
0,162 0,524 1
Kennzeichnung Schwefelhexafluorid 4.5
Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber: Schwefelhexafluorid 4.5
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
Eigenschaften Schwefelhexafluorid
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend
MAK-Wert:1000 ppm
Chemisches Zeichen:SF6
Molare Masse:146.05 g/mol
Kritische Temperatur:318.69 K (45.54 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):209.35 K (-63.8 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):5.106
Anwendungen Schwefelhexafluorid 4.5
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Si, SiO2)
  • Ätzen von Si vor CVD-Abscheidung

Gemische von Schwefelhexafluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.