Bestandteile
Wasserstoff (H2) 1%
Chlorwasserstoff (HCl) 5%
Helium (He) Rest
Lieferarten Gasgemische für Excimer-Laser
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Rauminhalt, LiterFülldruck, ca. barFüllmenge m³
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Kennzeichnung Gasgemisch 1 % Wasserstoff, 5 % Chlorwasserstoff, Rest Helium
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: mit Angaben zur Zusammensetzung
Ventilanschluss: 1 (DIN 477 Nr. 8), Edelstahl
M 19 x 1,5 LH (DIN 477 Nr. 14), Edelstahl
Eigenschaften Gasgemische für Excimer-Laser
MAK-Wert:
Chemisches Zeichen:
Molare Masse: g/mol
Kritische Temperatur: K ( °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): K ( °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):
Anwendungen Gasgemisch
1 % Wasserstoff, 5 % Chlorwasserstoff, Rest Helium
Betriebsgas für Excimer-Laser.
Gasgemische und Prüfgase in kundenspezifischer Zusammensetzung als auch in weiteren Gebindegrößen.
Ebenfalls verfügbar
Lasermix® E80
Gasgemisch
1 - 5 % Chlorwasserstoff, Rest Neon
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1 - 5 % Chlorwasserstoff, Rest Helium
Gasgemisch
1 % Wasserstoff, 5 % Chlorwasserstoff, Rest Neon
Premix 157 nm
0,1 - 0,2 % Fluor, Rest Helium
Premix 193 nm
0,1 - 0,2 % Fluor, 1 - 10 % Argon, 1 - 20 % Helium, Rest Neon
Premix 248 nm
0,1 - 0,2 % Fluor, 1 - 5 % Krypton, 1 - 20 % Helium, Rest Neon
Premix 308 nm
0,01 - 0,2 % Chlorwasserstoff, 0,01 - 0,05 % Wasserstoff, 0,1 - 2 % Xenon, 1 - 5 % Helium, Rest Neon
Premix 351 nm
0,1 - 0,3 % Fluor, 0,1 - 1 % Xenon, 1 - 20 % Helium, Rest Neon