Nebenbestandteile Tetrafluormethan 4.5 , ppm:
H2O 5
O2 5
CO + CO2 5
N2 20
andere hal. KW 20
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Kontrollzertifikat
Jede Füllung wird mit einem Kontrollzertifikat ausgeliefert, in dem die Einhaltung der Grenzwerte hinzufügen die Nebenbestandteile bestätigt ist.

Lieferarten Tetrafluormethan
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterFülldruck, ca. barFüllmenge kg
2 1101,2
10 1106
50 11036

Umrechnungszahlen Tetrafluormethan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 2,303 3,692
0,434 1 1,603
0,271 0,624 1
Kennzeichnung Tetrafluormethan 4.5
Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber: Tetrafluormethan 4.5
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
Eigenschaften Tetrafluormethan
Verdichtetes Gas, erstickend
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:CF4
Molare Masse:88.010 g/mol
Kritische Temperatur:227.7 K (-45.45 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):145.21 K (-127.94 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):3.050
Anwendungen Tetrafluormethan 4.5
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4)
  • Abtragen (Strippen) von Photolacken
  • Reinigen von Bohrlöchern

Gemische von Tetrafluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.