Nebenbestandteile Stickstofftrifluorid 4.0, vpm (in der Gasphase):
H2O ≤ 1
O2 ≤ 5
N2 ≤ 50
CO2 ≤ 15
CF4 ≤ 50
N2O ≤ 10
SF6 ≤ 10
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Stickstofftrifluorid
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterFülldruck, ca. barFüllmenge kg
2 410,3
10 411,5
50 234

Umrechnungszahlen Stickstofftrifluorid
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 1,922 2,96
0,52 1 1,54
0,338 0,649 1
Kennzeichnung Stickstofftrifluorid 4.0
Flaschenschulter: Blau RAL 5010
Aufkleber: Stickstofftrifluorid 4.0
Ventilanschluss: 1 nach DIN 477 Nr. 8
Eigenschaften Stickstofftrifluorid
Verdichtetes Gas, brandfördernd brandfördernd
MAK-Wert:10 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:NF3
Molare Masse:71.002 g/mol
Kritische Temperatur:233.89 K (-39.26 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):144.15 K (-129 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):2.446
Anwendungen Stickstofftrifluorid 4.0
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Silicium)
  • Reinigen von Prozess-Reaktoren

Gemische von Stickstofftrifluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Ebenfalls verfügbar
Stickstofftrifluorid 4.5