Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Kontrollzertifikat
Jede Füllung wird mit einem Kontrollzertifikat ausgeliefert, in dem die Einhaltung der Grenzwerte hinzufügen die Nebenbestandteile bestätigt ist.
Lieferarten Tetrafluormethan
Umrechnungszahlen Tetrafluormethan
m³ Gas (15 °C, 1 bar)
Liter flüssig bei Ts
kg
1
2,303
3,692
0,434
1
1,603
0,271
0,624
1
Kennzeichnung Tetrafluormethan 4.5
Flaschenschulter:
Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber:
Tetrafluormethan 4.5
Ventilanschluss:
W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
Eigenschaften Tetrafluormethan
Verdichtetes Gas, erstickend
MAK-Wert:
nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:
CF4
Molare Masse:
88.010 g/mol
Kritische Temperatur:
227.7 K (-45.45 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):
145.21 K (-127.94 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):
3.050
Anwendungen Tetrafluormethan 4.5
Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4)
Abtragen (Strippen) von Photolacken
Reinigen von Bohrlöchern
Gemische von Tetrafluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.