Nebenbestandteile Siliciumtetrafluorid 4.8, vpm (in der Gasphase):
O2 ≤ 3
N2 ≤ 3
CO ≤ 3
CO2 ≤ 3
CH4 ≤ 10
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Siliciumtetrafluorid
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterFülldruck, ca. barFüllmenge kg
2 180,2
10 181
50 1830

Umrechnungszahlen Siliciumtetrafluorid
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 2,643 4,388
0,378 1 1,66
0,228 0,602 1
Kennzeichnung Siliciumtetrafluorid 4.8
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Siliciumtetrafluorid 4.8
Ventilanschluss: 1 DIN 477 Nr. 8
Eigenschaften Siliciumtetrafluorid
Verdichtetes Gas, ätzend, giftig ätzendgiftig
MAK-Wert:0,8 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:SiF4
Molare Masse:104.08 g/mol
Kritische Temperatur:259 K (-14.15 °C)
Sublimationstemperatur bei 1,013 bar:177.95 K (-95.2 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):3.626
Anwendungen Siliciumtetrafluorid 4.8
  • Abscheiden von fluoriertem Siliciumoxid
  • Ionenimplantation
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien

Gemische von Siliciumtetrafluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.