Nebenbestandteile Schwefelhexafluorid 4.5, ppm:
|
H2O |
≤
5 |
|
O2 + N2 |
≤
10 |
|
CF4 |
≤
40 |
|
Säure |
≤
0,5** |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Schwefelhexafluorid
Lieferhinweise:
** Massenanteile
Umrechnungszahlen Schwefelhexafluorid
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) |
Liter flüssig bei Ts |
kg |
| 1 |
3,234 |
6,176 |
| 0,309 |
1 |
1,91 |
| 0,162 |
0,524 |
1 |
Kennzeichnung Schwefelhexafluorid 4.5
| Flaschenschulter: |
Leuchtendes Grün RAL 6018 |
| Aufkleber: |
Schwefelhexafluorid 4.5 |
| Ventilanschluss: |
W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 |
Eigenschaften Schwefelhexafluorid
| Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend | |
| MAK-Wert: | 1000 ppm |
| Chemisches Zeichen: | SF6 |
| Molare Masse: | 146.05 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 318.69 K (45.54 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 209.35 K (-63.8 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 5.106 |
Anwendungen Schwefelhexafluorid 4.5
- Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Si, SiO2)
- Ätzen von Si vor CVD-Abscheidung
Gemische von Schwefelhexafluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.