Reinigen von CVD-Kammern.
Gemische von Octafluortetrahydrofuran mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Nebenbestandteile Octafluortetrahydrofuran 2.5, ppm:
H2O | ≤ 10* |
Säure | ≤ 0,1* |
O2+N2+CO+CO2 | ≤ 400 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Octafluortetrahydrofuran
Lieferhinweise:
* Massenanteile
* Massenanteile
Umrechnungszahlen Octafluortetrahydrofuran
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
1 | 6,014 | 9,79 |
0,166 | 1 | 1,628 |
0,102 | 0,614 | 1 |
Kennzeichnung Octafluortetrahydrofuran 2.5
Flaschenschulter: | Leuchtendes Grün RAL 6018 |
Aufkleber: | Octafluortetrahydrofuran 2.5 |
Ventilanschluss: | W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 |
Eigenschaften Octafluortetrahydrofuran
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend | |
MAK-Wert: | nicht festgelegt |
Chemisches Zeichen: | C4F8O |
Molare Masse: | 216.00 g/mol |
Kritische Temperatur: | 399.96 K (127 °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 274 K (0.8 °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 8.090 |
Anwendungen Octafluortetrahydrofuran 2.5