Nebenbestandteile Hexafluorethan 3.5 (R 116), ppm:
H2O 5
O2 + N2 300
andere hal. KW 200
Säure 1*
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Hexafluorethan
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterFülldruck, ca. barFüllmenge kg
2 33**2
10 33**10
50 33**50
Lieferhinweise:
* Massenanteile
** der Fülldruck ist stark abhängig von der Temperatur

Umrechnungszahlen Hexafluorethan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 3,625 5,829
0,276 1 1,608
0,172 0,622 1
Kennzeichnung Hexafluorethan 3.5 (R 116)
Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber: Hexafluorethan 3.5
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
Eigenschaften Hexafluorethan
Verdichtetes Gas, erstickend
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:C2F6
Molare Masse:138.01 g/mol
Kritische Temperatur:292.85 K (19.7 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):194.95 K (-78.2 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):4.817
Anwendungen Hexafluorethan 3.5 (R 116)
  • Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4, Ti)
  • Reinigen von CVD-Kammern

Gemische von Hexafluorethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.