Nebenbestandteile Hexafluorethan 3.5 (R 116), ppm:
|
H2O |
≤
5 |
|
O2 + N2 |
≤
300 |
|
andere hal. KW |
≤
200 |
|
Säure |
≤
1* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Hexafluorethan
Lieferhinweise:
* Massenanteile
** der Fülldruck ist stark abhängig von der Temperatur
Umrechnungszahlen Hexafluorethan
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) |
Liter flüssig bei Ts |
kg |
| 1 |
3,625 |
5,829 |
| 0,276 |
1 |
1,608 |
| 0,172 |
0,622 |
1 |
Kennzeichnung Hexafluorethan 3.5 (R 116)
| Flaschenschulter: |
Leuchtendes Grün RAL 6018 |
| Aufkleber: |
Hexafluorethan 3.5 |
| Ventilanschluss: |
W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6 |
Eigenschaften Hexafluorethan
| Verdichtetes Gas, erstickend | |
| MAK-Wert: | nicht festgelegt |
| Chemisches Zeichen: | C2F6 |
| Molare Masse: | 138.01 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 292.85 K (19.7 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 194.95 K (-78.2 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 4.817 |
Anwendungen Hexafluorethan 3.5 (R 116)
- Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4, Ti)
- Reinigen von CVD-Kammern
Gemische von Hexafluorethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.