Nebenbestandteile Fluormethan 2.5 (R 41), ppm:
|
H2O |
≤
100 |
|
O2 |
≤
1200 |
|
N2 |
≤
3600 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Fluormethan
Umrechnungszahlen Fluormethan
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) |
Liter flüssig bei Ts |
kg |
| 1 |
1,788 |
1,445 |
| 0,559 |
1 |
0,808 |
| 0,692 |
1,238 |
1 |
Kennzeichnung Fluormethan 2.5 (R 41)
| Flaschenschulter: |
Rot RAL 3000 |
| Aufkleber: |
Fluormethan 2.5 |
| Ventilanschluss: |
W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1 |
Eigenschaften Fluormethan
| Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich |  |
| MAK-Wert: | nicht festgelegt |
| Chemisches Zeichen: | CH3F |
| Molare Masse: | 34.033 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 317.7 K (44.55 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 194.74 K (-78.41 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 1.190 |
Anwendungen Fluormethan 2.5 (R 41)
Trockenätzen von Silicium mit hohem Aspektverhältnis.
Gemische von Fluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.