Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Si).
Gemische von Difluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Lieferarten Difluormethan
Umrechnungszahlen Difluormethan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
1 | 2,246 | 2,724 |
0,445 | 1 | 1,213 |
0,367 | 0,824 | 1 |
Kennzeichnung Difluormethan 3.0 (R 32)
Flaschenschulter: | Rot RAL 3000 |
Aufkleber: | Difluormethan 3.0 |
Ventilanschluss: | W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1 |
Eigenschaften Difluormethan
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich | |
MAK-Wert: | 1000 ppm (TWA) |
Chemisches Zeichen: | CH2F2 |
Molare Masse: | 52.024 g/mol |
Kritische Temperatur: | 351.55 K (78.4 °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 221.45 K (-51.7 °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 2.250 |
Anwendungen Difluormethan 3.0 (R 32)