Nebenbestandteile Bortrifluorid 2.5, ppm:
|
SiF4 |
≤
1000 |
|
O2 + N2 |
≤
4000 |
|
SO2 + SO3 |
≤
200 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Bortrifluorid
Umrechnungszahlen Bortrifluorid
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) |
Liter flüssig bei Ts |
kg |
| 1 |
1,804 |
2,867 |
| 0,554 |
1 |
1,589 |
| 0,349 |
0,629 |
1 |
Kennzeichnung Bortrifluorid 2.5
| Flaschenschulter: |
Gelb RAL 1018 |
| Aufkleber: |
Bortrifluorid 2.5 |
| Ventilanschluss: |
1 nach DIN 477 Nr. 8 |
Eigenschaften Bortrifluorid
| Verdichtetes Gas, ätzend, sehr giftig |   |
| MAK-Wert: | 1 ppm |
| Chemisches Zeichen: | BF3 |
| Molare Masse: | 67.805 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 260.95 K (-12.2 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 172.85 K (-100.3 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 2.370 |
Anwendungen Bortrifluorid 2.5
Dotierung durch Ionenimplantation.
Gemische von Bortrifluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.