Plasmaätzen von Silicium.
Gasgemische und Prüfgase in kundenspezifischer Zusammensetzung als auch in weiteren Gebindegrößen.
Herstelltoleranz (relativ), Analysengenauigkeit (relativ), Stabilität (Monate)
Sauerstoff (O2) | 4-15% |
Tetrafluormethan (CF4) | Rest |
Lieferarten Sauerstoff in Tetrafluormethan
Kennzeichnung 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5
Flaschenschulter: | Leuchtendes Grün RAL 6018 |
Aufkleber: | 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5 |
Ventilanschluss: | M 19 x 1,5 LH nach DIN 477 Nr. 14 |
Eigenschaften Sauerstoff in Tetrafluormethan
MAK-Wert: | |
Chemisches Zeichen: | O2 in CF4 |
Molare Masse: | g/mol |
Kritische Temperatur: | K ( °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | K ( °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft |
Anwendungen 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5