Abscheidung von Si-Ge-Schichten in der Mikroelektronik oder für Solarzellen.
Gemische von German mit den Restgasen Wasserstoff, Argon, Helium oder Stickstoff mit den Nebenbestandteil-Konzentrationen von German 5.0 können auf Anfrage geliefert werden.
Nebenbestandteile German 5.0, ppm:
N2 | ≤ 2 |
Germoxane | ≤ 5 |
Chlorgermane | ≤ 0,5 |
O2 + Ar | ≤ 0,5 |
CO | ≤ 1 |
CO2 | ≤ 2 |
CH4 | ≤ 1 |
H2O | ≤ 1 |
H2 | ≤ 50 |
Ge2H6 | ≤ 20 |
Ge3H8 | ≤ 1 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten German
Umrechnungszahlen German
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
1 | 0,248 | 2,969 |
0,458 | 1 | 1,36 |
0,337 | 0,735 | 1 |
Kennzeichnung German 5.0
Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 |
Aufkleber: | German 5.0 |
Ventilanschluss: | W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1 |
Eigenschaften German
Verdichtetes Gas, Hochentzündlich, sehr giftig, selbstentzündlich an der Luft | |
MAK-Wert: | 0,2 ppm (TLV) |
Chemisches Zeichen: | GeH4 |
Molare Masse: | 76,62 g/mol |
Kritische Temperatur: | 307,95 K (34,8 °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 184,65 K (-88,5 °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 2,6 |
Anwendungen German 5.0