Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Kontrollzertifikat
Jede Füllung wird mit einem Kontrollzertifikat ausgeliefert, in dem die Einhaltung der Grenzwerte hinzufügen die Nebenbestandteile bestätigt ist.
Lieferarten Trifluormethan
Lieferhinweise:
* Massenanteile
Umrechnungszahlen Trifluormethan
m³ Gas (15 °C, 1 bar)
Liter flüssig bei Ts
kg
1
2,049
2,949
0,488
1
1,439
0,339
0,695
1
Kennzeichnung Trifluormethan 5.0
Flaschenschulter:
Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber:
Trifluormethan 5.0
Ventilanschluss:
W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
Eigenschaften Trifluormethan
Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend
MAK-Wert:
nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:
CHF3
Molare Masse:
70.010 g/mol
Kritische Temperatur:
299.15 K (26 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):
190.97 K (-82.18 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):
2.438
Anwendungen Trifluormethan 5.0
Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4).
Gemische von Trifluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.