Nebenbestandteile Phosphin 5.0, ppm:
H2O ≤ 1
O2 ≤ 1
N2 ≤ 3
CO ≤ 1
CO2 ≤ 1
KW ≤ 2
AsH3 ≤ 2
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Phosphin
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 34,60,3
10 34,61

Umrechnungszahlen Phosphin
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 1,935 1,432
0,517 1 0,74
0,698 1,351 1
Kennzeichnung Phosphin 5.0
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Phosphin 5.0
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1
Eigenschaften Phosphin
Unter Druck verflüssigtes Gas, , umweltgefährlich, ätzend, sehr giftig, umweltgefährlichätzendsehr giftig
MAK-Wert:0.1 ppm
Chemisches Zeichen:PH3
Molare Masse:33.998 g/mol
Kritische Temperatur:325.05 K (51.9 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):185.4 K (-87.77 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):1.180
Anwendungen Phosphin 5.0
  • Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bervorzugt Gemische mit H2, Ar, He oder N2 verwendet (Dotiergasgemische)
  • Dotierung von Si und SiO2 während der Abscheidung (CVD)
  • Herstellung von GaP, GaAsP oder InP Halbleitern

Gemische von Phosphin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.