- Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Al, Au, Si, GaAs)
- Produktion von Glasfasern
Gemische von Chlor mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Nebenbestandteile Chlor 5.0, ppm:
| H2O | ≤ 1 |
| O2 | ≤ 1 |
| N2 | ≤ 2 |
| CO | ≤ 1 |
| CO2 | ≤ 5 |
| KW | ≤ 1 |
| Fe | ≤ 0,5* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Chlor
Lieferhinweise:
* Massenanteile
** Edelstahl-Niederdruckflasche
* Massenanteile
** Edelstahl-Niederdruckflasche
Umrechnungszahlen Chlor
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
| 1 | 1,924 | 3,007 |
| 0,52 | 1 | 1,563 |
| 0,333 | 0,64 | 1 |
Kennzeichnung Chlor 5.0
| Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 |
| Aufkleber: | Chlor 5.0 |
| Ventilanschluss: | 1 nach DIN 477 Nr. 8 |
Eigenschaften Chlor
| Unter Druck verflüssigtes Gas, umweltgefährlich, reizend |  |
| MAK-Wert: | 0.5 ppm |
| Chemisches Zeichen: | Cl2 |
| Molare Masse: | 70.906 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 417.15 K (144 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 239.05 K (-34.1 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 2.486 |
Anwendungen Chlor 5.0
Gemische von Chlor mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Gemische von Chlor mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.