Dotierung durch Ionenimplantation.
Gemische von Bortrifluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
Nebenbestandteile Bortrifluorid 2.5, ppm:
SiF4 | ≤ 1000 |
O2 + N2 | ≤ 4000 |
SO2 + SO3 | ≤ 200 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Bortrifluorid
Umrechnungszahlen Bortrifluorid
m³ Gas (15 °C, 1 bar) | Liter flüssig bei Ts | kg |
1 | 1,804 | 2,867 |
0,554 | 1 | 1,589 |
0,349 | 0,629 | 1 |
Kennzeichnung Bortrifluorid 2.5
Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 |
Aufkleber: | Bortrifluorid 2.5 |
Ventilanschluss: | 1 nach DIN 477 Nr. 8 |
Eigenschaften Bortrifluorid
Verdichtetes Gas, ätzend, sehr giftig | |
MAK-Wert: | 1 ppm |
Chemisches Zeichen: | BF3 |
Molare Masse: | 67.805 g/mol |
Kritische Temperatur: | 260.95 K (-12.2 °C) |
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 172.85 K (-100.3 °C) |
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft | 2.370 |
Anwendungen Bortrifluorid 2.5