Nebenbestandteile Bortrifluorid 2.5, ppm:
SiF4 ≤ 1000
O2 + N2 ≤ 4000
SO2 + SO3 ≤ 200
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Bortrifluorid
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterFülldruck, ca. barFüllmenge kg
2 500,5

Umrechnungszahlen Bortrifluorid
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 1,804 2,867
0,554 1 1,589
0,349 0,629 1
Kennzeichnung Bortrifluorid 2.5
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Bortrifluorid 2.5
Ventilanschluss: 1 nach DIN 477 Nr. 8
Eigenschaften Bortrifluorid
Verdichtetes Gas, ätzend, sehr giftig Verdichtetes Gasätzendsehr giftig
MAK-Wert:1 ppm
Chemisches Zeichen:BF3
Molare Masse:67.805 g/mol
Kritische Temperatur:260.95 K (-12.2 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):172.85 K (-100.3 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):2.370
Anwendungen Bortrifluorid 2.5
Dotierung durch Ionenimplantation.
Gemische von Bortrifluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.