Nebenbestandteile Bortrichlorid 5.0, ppm:
|
O2 |
≤
1 |
|
N2 |
≤
2 |
|
CO |
≤
1 |
|
CO2 |
≤
5 |
|
KW |
≤
1 |
|
Fe |
≤
0,2* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Bortrichlorid
Lieferhinweise:
* Massenanteile
Umrechnungszahlen Bortrichlorid
| m³ Gas (15 °C, 1 bar) |
Liter flüssig bei Ts |
kg |
| 1 |
3,65 |
4,913 |
| 0,274 |
1 |
1,346 |
| 0,204 |
0,743 |
1 |
Kennzeichnung Bortrichlorid 5.0
| Flaschenschulter: |
Gelb RAL 1018 |
| Aufkleber: |
Bortrichlorid 5.0 |
| Ventilanschluss: |
1 nach DIN 477 Nr. 8 |
Eigenschaften Bortrichlorid
| Unter Druck verflüssigtes Gas, sehr giftig, ätzend |  |
| MAK-Wert: | nicht festgelegt |
| Chemisches Zeichen: | BCl3 |
| Molare Masse: | 117. 2 g/mol |
| Kritische Temperatur: | 451.95 K (178.8 °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 285.65 K (12.5 °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 4.062 |
Anwendungen Bortrichlorid 5.0
- Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Al, Si)
- Dotierung von Silicium und Germanium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation
Gemische von Bortrichlorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.