Nebenbestandteile Disilan 4.8, ppm:
H2O ≤ 1
O2 ≤ 1
N2 ≤ 4
Chlorsilane ≤ 0,2
CO2 ≤ 1
KW ≤ 1
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Disilan
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 2,30,1
10 2,30,5

Umrechnungszahlen Disilan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 2,957 2,664
0,338 1 0,901
0,375 1,11 1
Kennzeichnung Disilan 4.8
Flaschenschulter: Rot RAL 3000
Aufkleber: Disilan 4.8
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1
Eigenschaften Disilan
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, selbstentzündlich an der Luft hochentzündlich
MAK-Wert:nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:Si2H6
Molare Masse:62.220 g/mol
Kritische Temperatur:424 K (150.85 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):258.85 K (-14.3 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):2.200
Anwendungen Disilan 4.8
  • Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
  • Niedertemperatur-CVD

Gemische von Disilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.