Nebenbestandteile Dichlorsilan 3.0, ppm:
andere Chlorsilane ≤ 0,1 %*
C ≤ 1 ppm*
Fe ≤ 25 ppb*
B ≤ 0,1 ppb*
P ≤ 0,2 ppb*
As ≤ 0,3 ppb*
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Dichlorsilan
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 1,61,5
Edelstahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
10 1,69
47 1,642
Lieferhinweise:
* Massenanteile

Umrechnungszahlen Dichlorsilan
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 3,487 4,397
0,287 1 1,261
0,227 0,793 1
Kennzeichnung Dichlorsilan 3.0
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Dichlorsilan 3.0
Ventilanschluss: 1 LH nach DIN 477 Nr. 5
Eigenschaften Dichlorsilan
Unter Druck verflüssigtes Gas, , ätzend, giftig ätzendgiftig
MAK-Wert:5 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:SiH2Cl2
Molare Masse:101.01 g/mol
Kritische Temperatur:449.45 K (176.3 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):281.55 K (8.4 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):3.630
Anwendungen Dichlorsilan 3.0
Siliciumabscheidung in CVD-Prozessen (z.B. Epitaxie).
Gemische von Dichlorsilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

Ebenfalls verfügbar
Dichlorsilan 2.0