Nebenbestandteile Arsin 5.0, ppm:
O2 1
N2 3
H2O 2
KW 1
CO 1
CO2 1
PH3 0,1
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen
Lieferarten Arsin
Stahlflasche
Rauminhalt, LiterDampfdruck bei 20°C, barFüllmenge kg
2 150,3
10 151
Lieferhinweise:
vom Standard abweichende Behälter sowie Behälter für Gemische auf Anfrage lieferbar

Umrechnungszahlen Arsin
m³ Gas (15 °C, 1 bar) Liter flüssig bei Ts kg
1 1,991 3,253
0,502 1 1,634
0,307 0,612 1
Kennzeichnung Arsin 5.0
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Arsin 5.0
Ventilanschluss: W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1
Eigenschaften Arsin
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, umweltgefährlich, sehr giftig hochentzündlichumweltgefährlichsehr giftig
MAK-Wert:0,05 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:AsH3
Molare Masse:77.950 g/mol
Kritische Temperatur:373.05 K (99.9 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):210.67 K (-62.48 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):2.688
Anwendungen Arsin 5.0
Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bevorzugt Gemische mit H2, Ar, He oder N2 verwendet (Dotiergasgemische).
Gemische von Arsin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.