Herstelltoleranz (relativ), Analysengenauigkeit (relativ), Stabilität (Monate)
Bestandteile
| Sauerstoff (O2) |
4-15% |
| Tetrafluormethan (CF4) |
Rest |
Lieferarten Sauerstoff in Tetrafluormethan
Kennzeichnung 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5
| Flaschenschulter: |
Leuchtendes Grün RAL 6018 |
| Aufkleber: |
4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5 |
| Ventilanschluss: |
M 19 x 1,5 LH nach DIN 477 Nr. 14 |
Eigenschaften Sauerstoff in Tetrafluormethan
| MAK-Wert: | |
| Chemisches Zeichen: | O2 in CF4 |
| Molare Masse: | g/mol |
| Kritische Temperatur: | K ( °C) |
| Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | K ( °C) |
| Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | |
Anwendungen 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5
Plasmaätzen von Silicium.
Gasgemische und Prüfgase in kundenspezifischer Zusammensetzung als auch in weiteren Gebindegrößen.